臭氧比氯有较高的氧化电位，因此它比氯消毒具有更强的杀菌作用。对细菌的作用也比氯快，消耗量明显较小，且在很大程度上不受PH的影响。有关资料报道，剂量为2mg/L时，水几乎可以完全被消毒。
桶装水用臭氧发生器处理后，水中的细菌、病毒99%以上都被消灭。并且处理过程中具有较好的除色、除味、除藻类、有机物氧化、无机物氧化、去除悬浮固体或浊度、生物过预处理等效果。
臭氧发生器消毒杀菌比氯快百倍，几乎是瞬间杀灭，并且杀灭效率很高。尤其对有机化合物污染物质去除彻底而不产生二次污染。臭氧发生器产生的臭氧能对有毒化学物质，例如氰化物、酚类、苯酚等;对致癌物，例如苯并比、苯并葱等进行氧化，生成无毒的物质。经臭氧处理过的水，无异味且可口。
美国、日本和英国等国家也逐渐对臭氧在水处理中的应用产生了兴趣，并逐步 在一些饮用水处理系统中采用或增设了臭氧消毒设备处理工艺。
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